شرح:

میکروسکوپ الکترونی روبشی: میکروسکوپ الکترونی روبشی یا SEM نوعی میکروسکوپ

الکترونی است که قابلیت عکس‌برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با قدرت

تفکیکی کمتر از ۱ تا ۲۰ نانومتر (بسته به نوع نمونه) را دارد. در میکروسکوپ الکترونی روبشی

(SEM) مانند میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، یک پرتو الکترونی به نمونه می‌تابد. منبع

الکترونی (تفنگ الکترونی) معمولاً از نوع انتشار ترمویونیکی فیلامان یا رشته تنگستنی است

اما استفاده از منابع گسیل میدان برای قدرت تفکیک بالاتر، افزایش یافته است…منبع الکترونی

(تفنگ الکترونی) معمولاً از نوع انتشار ترمویونیکی فیلامان یا رشته تنگستنی است اما استفاده

از منابع گسیل میدان برای قدرت تفکیک بالاتر، افزایش یافته است معمولاً الکترون‌ها بینKeV۱-۳۰

شتاب داده می‌شوند.